主要技術(shù)參數(shù)：

1.      極限真空度：6 x 10^-4；

2.      工作真空度：6.67x10^-3Pa；

3.      抽速：從大氣抽至6.67x10^-3Pa，＜10分鐘；

4.      壓升率：0.35Pa/小時；

5.      自轉(zhuǎn)軸中心距：370mm；

6.      工位：8個（工件架最大自轉(zhuǎn)半徑為160mm）；

7.      電氣控制系統(tǒng)：PLC全自動控制，可動行多種工藝設(shè)置。

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