顯影清洗機
適用對象:硅片 、藍寶石基片,2-12inch,2-4 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
適用產(chǎn)業(yè):半導體照明(LED)、半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發(fā)光二級管(OLED)等;
控制模式:手動控制模式、自動控制模式;
制程應(yīng)用:濕法清洗顯影制程;
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顯影清洗機
詳細信息 顯影清洗機
適用對象:硅片 、藍寶石基片,2-12inch,2-4 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
適用產(chǎn)業(yè):半導體照明(LED)、半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發(fā)光二級管(OLED)等;
控制模式:手動控制模式、自動控制模式;
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