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外延石英鐘罩清洗機(jī)
※ 名稱(chēng)：外延石英鐘罩清洗機(jī);
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式;
※ 清洗能力: 1）9010mm*1170mm 2) 471mm*155mm 3) 1200mm* Φ417mm 4）900mm石英件等 1件/批；
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型;
※ 機(jī)臺(tái)總體結(jié)構(gòu)定分為兩部分；機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域，清洗臺(tái)設(shè)有記憶模塊;
※ 可根據(jù)需要定時(shí)定量補(bǔ)充槽體藥液;
※ 工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定;
※ 設(shè)備臺(tái)面排列為單排多工位，布局按用戶要求。